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SHCV大功率半自動探針臺

產品型號：SHCV-Auto
產品代碼：
產品價格：10000
計量單位：臺
折扣率： 0
最后更新：2018-06-29
關注度：7918
生產企業：深圳市鑫志尚電子有限公司

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產品詳細介紹大功率半自動探針臺
型號  SHCV-6-Auto  SHCV-8-Auto  SHCV-12-Auto
外形  860mm*850mm*700mm  880mm*860mm*750mm   1300mm*920mm*920mm
重量  180KG  250KG  380KG
電力需求  AC220V,50~60HZ
Chuck  尺寸  6inch  8inch  12inch
X-Y軸行程  6*6inch  8*8inch  12*12inch
X-Y軸移動解析度  0.04um/0.1um
X-Y軸重復定位精度  ±1um
移動速度  ≥ 50 mm/sec
Z軸行程  10mm
Z軸移動解析度  0.1um
Z軸重復定位精度  ±1um
Theta角度行程  ±15°
Theta角度解析度  0.0003°
光柵尺  帶光柵尺
樣品固定方式  多孔真空吸附，獨立分區控制
切換樣品功能  樣品臺快速拉出
結構  同軸高壓設計，鍍金，電學獨立懸空，可作為背電極使用
針座平臺  規格  O型平臺，最多可放置8個針座  O型平臺，最多可放置10個針座  O型平臺，最多可放置12個針座
行程&調節方式  平臺可以快速升降，行程 6mm并帶自動鎖定功能;可以上下微調，行程25mm，升降精度1um
控制方式  手動控制盒（可選擇帶操縱桿）
軟件控制
軟件功能  wafer map的編輯
儀器的接入
數據的采集和圖像化顯示
數據的分析
差異數據的標定Ink mark
自定義Bin分
自動測試
通訊接口：RS232/EtherCAT/GPIB等
大功率規格  配置  大功率kelvin樣品臺
大功率夾具線纜
mult-pin 分流探針
大功率保護模塊（針座用）
保護紅外光幕，防止人員誤進入工作區，觸發時interlock互鎖
大功率儀器連接模塊
最大測試電壓  10KV
最大測試電流  500A（脈沖）
光學特性  顯微鏡行程  2*2inch
顯微鏡行程  1um
放大倍數  20-4000X
CCD像素  50W（模擬）/200W（數字）/500W（數字）
點針規格  點針精度  10微米/2微米/0.7微米
X-Y-Z行程  12mm-12mm-12mm
漏電精度    10pA/100fA
接口形式  香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸/SMA，SHV接口
溫控特性  溫度范圍  ﹣100~200℃  ﹣80~200℃  ﹣60~200℃
溫控精度  溫度分辨率： 0.01°C
加熱電源   LVDC 低壓直流
最低控溫速率      ±0.1°C  /小時
傳感器   Pt100
制冷方式  液氮制冷
減震  主動式減震系統，能夠實現50X 物鏡下畫面不抖動
可選附件  chuck快速拉出裝置
顯微鏡傾仰裝置
激光修復
探針卡夾具
光強/波長測試接口部件
加熱臺
高低溫樣品臺（-80~200℃）
防震桌
射頻測試
PCB板夾具
液晶熱點偵測套裝
屏蔽箱
卡盤鍍金
運用方向  晶圓測試，功率器件測試

特點：
SiC/GaN晶圓測試  超高的測試精度
大功率晶圓測試  便捷的儀器接入
（-60~200℃）高低溫Chuck  半自動測試
20~4000X光學顯微放大  可升級全自動測試
功能豐富的測試軟件  可升級射頻測試

深圳市鑫志尚電子有限公司

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