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UP1L科研用超高純氣體純化器

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最后更新：2019-05-14
關注度：6689
生產企業：北京億誠恒達科技有限公司

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產品詳細介紹超高純氣體純化技術是有色金屬研究總院“十三五”重點產業化方向。在“十二五”期間軍工項目科研成果基礎上研發的氣體純化材料，具有處理量大、去除雜質種類多、吸附深度大、使用壽命長等優點，并以此為核心技術開發出多個型號的惰性氣體、氫氣和氮氣等超高純氣體純化裝置。同時，有研總院自身具備不斷創新的研發能力，成套的純化材料生產、純化器組裝技術，以及完善的純化器性能測試條件，可根據用戶需求設計完整解決方案、定制非標產品，并提供各項性能檢測服務，目前產品已應用于中國科學院理化所、中國核工業集團、西南化工研究設計院、北京師范大學、北京航空航天大學、北京科技大學、國家有色金屬材料檢測中心，哈爾濱師范大學等單位獲得應用。

UP1L 超高純氣體純化器采用活性金屬為化學吸附劑，當原料氣通過活性金屬純化床時，氣體中O 2，H2O，N2，CO，CO2，CH4等雜質氣體與活性金屬發生化學吸附反應，根據原料氣純度不同，一次純化后出口氣體純度即達到 7N-8N，可實現無人值守全自動運行，并具有實時監測、故障報警和反饋等功能。為保證產品質量，純化器系統管路連接全部采用 Swagelok 全自動軌道焊機焊接，漏率低于 10－9 Pa；關鍵部件焊接、組裝、生產均在千級超凈環境中進射流沖蝕試驗機便于在各種條件下測定的磨損率。磨損率可以用來確定在給定操作條件的最佳材料。它也可以被用來預測使用壽命和壽命周期成本。

UP系列氣體純化器

1.jpg

委托上海正帆科技公司對 GRINM-UP1L 氬氣純化器性能檢測結果

氣體類型

H2

O2/Ar

N2

CH4

CO

CO2

H2O

單位

原料氣

0.074

<0.01

0.248

<0.01

<0.01

<0.01

未測試

ppm

純化后

<0.01

<0.01

<0.01

<0.01

<0.01

<0.01

<0.033

ppm

部分用于現場照片：

2.jpg



山西中升鋼廠光譜儀配套UP10M使用現場，分析用氣體純度達到光譜儀檢測所需的最高級的綠色。

3.jpg

北京科技大學CVD設備用的多臺UP1L氬氣純化器

4.jpg

西南化工研究院定制 20MPa/30Nm3 氬氣純化器

5.jpg

搭載氫氣純化的電解水制氫/在線純化系統，用于人造鉆石生產高純氫場合

6.jpg

UP1L 超高純氣體純化器產品參數：

l  原料氣純度要求：≥99.999%，He/Ar/H2 /N2

l  產品氣純度：≥99.99999%

l  產品氣雜質含量：

H2O ≤5ppb

O2 ≤10ppb

N2 ≤10ppb（原料氣非 N2 ）

H2 ≤10ppb（原料氣非 H2 ）

CO ≤10ppb

CO2 ≤10ppb

CH4 ≤10ppb

NMHC ≤10ppb

l  最大工作流量：1000sccm

l  內置顆粒過濾器：2 微米

l  軟件功能：可顯示多達7種工作狀態或故障報警，并具有壽命計時及提醒功能

l  擴展功能：多臺純化器可同一終端批量控制，也可與其他設備集成使用

l  最大工作壓力：1.0MPa

l  進出氣接口：1/8″卡套或VCR 接頭

l  純化柱及管路：EP級316不銹鋼

l  電源電壓及功率：220V，0.8kw

l  產品外形尺寸：170×160×320mm

氣體純化器是集成電路、LED、太陽能板、光纖、燃料電池等制造工藝中必不可少的重要裝備，并可有效提高離子濺射、薄膜生長、焊接、配氣等多項技術的工藝性能。UP1L 超高純氣體純化器系列主要服務于各類科研與分析儀器，如氣相色譜儀、輝光質譜儀、光譜儀、鍍膜機等，為其提高高純度載氣或分析氣，也可用于保證材料氣相沉積生長、磁控濺射鍍膜、高精度焊接等用氣純度。

氣體種類

產品用途

應用領域

He

載氣、保護氣純化

色譜儀等分析儀器載氣

Ar

載氣、保護氣、吹掃氣純化

輝光質譜儀、磁控濺射、納米材料制備，熱處理保護氣，氬弧焊吹掃氣

N2

保護氣、吹掃氣純化

磁控濺射反應氣、氣路吹掃氣

H2

反應氣、保護氣純化

材料生長、鍍膜反應氣、退火保護氣

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