在原子尺度工作時，定位精度非常的關鍵。為了確保精度，所有NTEGRA 系列產(chǎn)品都特別的設計了內(nèi)置、閉環(huán)的電容傳感器。即使當掃描區(qū)域小到50×50nm，因其超低的噪音水平(典型值小于0.1nm)仍然能在使用內(nèi)置傳感器的情況下對樣品表面進行成像和修飾。可靠的掃描反饋確保可高精度的定量測量針尖和樣品表面間的相互作用力。

對于NTEGRA而言，NTEGRA Prima 僅僅只是一個基礎、核心，它所創(chuàng)建的納米實驗室設計了完全開放的硬件、軟件和信號集成的結(jié)構(gòu)，為與其它儀器集成提供了接口和平臺。它可以和高級光譜儀、超薄切片機、大規(guī)模篩選(high-throughput screening)以及加熱附件等結(jié)合，形成新一代的集成分析儀器。無論你需要的是簡單的還是更加的完善和復雜的SPM，NTEGRA Prima都能提供良好的平臺，保證你成功的成像和測量。

特色介紹

l       裝有一個帶集成電容傳感器的可更換掃描器，可獲得的掃描范圍：100x100x12 µm

l       雙掃描模式(DualScan)是NT-MDT獨有的技術(shù)，它采用一個可更換的底部掃描器(100x100x12µm)和一個頂部掃描器(100x100x10μm)，使總的掃描范圍達到：200x200x22μm；

l       XY非線性：校正后，峰峰值0.05%，在整個掃描范圍內(nèi)，X-Y平面的定位精度保持在10-20納米內(nèi)；

l       NTEGRA的控制器和機械部件可以在高達5 MHz的高頻下工作，因此儀器可以使用高共振頻率的懸臂，從而得到更加完美的圖像；同樣這使得原子力聲學顯微鏡(AFAM)的應用成為可能。該系統(tǒng)可以用于研究高電阻材料，例如半導體上的薄膜絕緣層、DLC和壓電薄膜、導電聚合物等。

l       低熱漂移和熱穩(wěn)定性(特殊材料：鈦)

l       友好的操作軟件和強大的腳本語言控制——NT-MDT獨有

l       光學垂直方向分辨可達0.4um (使用高數(shù)值孔徑的頭部), 可倒置觀察樣品——NT-MDT獨有

l       整體設計的液體池，可選配加熱裝置和超小液體池(200微升)

l       納米刻蝕操作軟件

l       整體設計的防磁、防電、防聲屏蔽罩

l       低真空操作環(huán)境可選

l       內(nèi)置濕度、溫度傳感器，LCD液晶顯示

l       通氣孔設計可提供氣體控制

l       對樣品尺寸無限制

3．應用介紹

生物學和生物技術(shù)
蛋白質(zhì)、 DNA、病毒、細菌、組織等 
材料科學
表面形貌形態(tài)、壓電性質(zhì)、粘滯力分析、摩擦特性分析等 
磁材料
磁疇結(jié)構(gòu)成像、觀察因外部磁場引起的磁性的反轉(zhuǎn)、不同溫度下的磁結(jié)構(gòu)變化等 
半導體和電學性質(zhì)測量
硅片等材料的表面形貌、表面電勢和電容測量、表面電荷分布圖、摻雜濃度分析、失效分析(局域?qū)щ娦院徒^緣層漏電流) 
聚合物和有機薄膜
球狀或柱狀晶體、聚合物單晶材料、聚合物納米顆粒、LB 膜、有機薄膜等 
數(shù)據(jù)存儲
CD, DVD 盤 
納米材料
納米粉體、納米復合材料、納米多孔材料、 
納米結(jié)構(gòu)材料
    富勒烯、碳納米管、納米絲、納米膠囊

納米電子學
量子點、納米線、量子結(jié)構(gòu) 
納米機械學
AFM 納米刻蝕：力(直流電和交流電)、電流(局部陽極氧化)、STM 納米刻蝕 
納米操縱
接觸力 
  
1.      NTEGRA-Prima

NT-MDT獨有的雙掃描模式(DualScan)使總的掃描范圍達到：200x200x22μm，對樣品尺寸幾乎無限制

 這套系統(tǒng)可以用于研究高電阻的材料，例如在半導體基體上的絕緣薄膜，DLC和壓電薄膜，導電聚合物等

This system can be used in research of high-resistance materials such as thin dielectric layers on semiconductors, DLC and piezo-films, conductive polymers etc.

2.      NTEGRA-Aura

NTEGRA Aura allows measurements in low vacuum environment,

Additional possibilities are provided by a temperature table with sample heating up to 300 oC degree Celsius and the accuracy of temperature maintenance 0.05 oC.
Measurements in a controlled gas atmosphere are possible as well.

3.      NTEGRA-Vita

可選用不同的液體槽：密封的化學穩(wěn)定的液體槽，可以進行升溫控制；用于在培養(yǎng)皿中進行操作的封閉式液體槽；可更換的加熱器。

Different liquid cells are available: hermetic chemically stable liquid flow cell with a possibility of the temperature control at elevated temperatures; closed liquid flow temperature controlled cell for operating with Petri dishes; replaceable heater

4.      NTEGRA-Maximus

NTEGRA Maximus 基座是一個帶有傳動平臺的可更換的中央部件。樣品在50mm內(nèi)可在XY方向上自由移動，且可以進行0-360度旋轉(zhuǎn)。

NTEGRA Maximus basement is a changeable center unit with a motorized stage. Sample movement is possible within 50mm by X,Y and within 0-360 degrees under rotation

許多小樣品也可以在 NTEGRA Maximus上進行自動測量，且提供高質(zhì)量的成像效果。

Automated measurements of many small samples are also possible with NTEGRA Maximus enabling high throughput screening.

5.      NTEGRA-Solaris

集成到中央基座上的倒置式顯微鏡使系統(tǒng)具有高的剛性，保證了系統(tǒng)的穩(wěn)定性，從而不僅可以獲得高質(zhì)量的成像效果，且可進行長時間的研究。

The integrating of the inverted microscope objective into the central base because of high mechanical rigidity provides stability of the system making quality images and long-term experiments possible

6.      NTEGRA-Spectra

通用的PNL平臺為將掃描共聚焦顯微鏡、常規(guī)的AFM和分光鏡聯(lián)用提供了可能性，從而可以探測拉曼散射光譜，進而可以得到很多與樣品化學組成有關的復雜信息。

The universal PNL platform provides the possibility to integrate scanning confocal scheme in combination with regular AFM and spectrometer to detect Raman scattering spectrum. This spectra may then be interpreted into complex information concerning chemical composition of the object.

7.      NTEGRA-Therma

專用的熱學頭部可提供非常低的熱漂移(小于10 nm/°C)，保證了針尖-樣品系統(tǒng)的穩(wěn)定性。這樣可以對樣品表面選定的點進行長時間的研究。

Special Thermo head provides extremely low thermal drift (less than 10 nm/癈) ensuring high stability of the tip-sample system. This allows long-term measurements to be done in pre-defined point on the specimen surface.

8.      NTEGRA-Tomo

超薄切片機可以制備用于原子力顯微鏡研究的納米片層和新鮮表面。因此，可以研究表面的物理性質(zhì)和重構(gòu)后的3維圖像
經(jīng)過NTEGRA Tomo處理后的片狀樣品可以用于透射電鏡分析。

 Ultramicrotome makes nanoslices of a sample and a freshly cut surface is then measured by AFM. Thus, many physical properties of a surface are studied and 3D-volume imaging is available after the reconstruction. 
 After the NTEGRA Tomo operation sample slices stay available for TEM analysis